公称寸法外径3 mmのマイクロ圧力センサCYG 503は、空気力学研究試験において、設置寸法が小さく、流れ場を乱さず、動的応答に優れた動的圧力分布測定を要求するために設計された。エンジン吸気路圧力歪み、サージングなどの空気力学性能測定に応用する。

CYG 503の圧力感受性素子は先進的なMEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術を用いて設計と製造されている。三次元集積、両面加工のシリコン圧力抵抗圧力感受性素子は、優れた線形精度、イオン注入、微細リソグラフィ技術によって作製されたホイートストン歪ブリッジの高い一致性によって、小さな温度ドリフト、体微小機械加工、精密異方性腐食によって形成されたシリコン薄膜感受性構造によって、高い圧力感度と1.5 mm以下の径方向スケールを持たせた。先進的なマイクロ化された圧力感受性チップは無応力パッケージ技術を採用し、特製のマイクロマウントベースとステンレス毛細管に密封パッケージされている。絶圧型センサの基準圧力室はチップ裏面に密封された真の空洞であり、表圧型センサの基準圧力室はより細いステンレス毛細管を通じて裏面から引き出して大気とコミュニケーションする。また、ユーザが安定した圧力基準を得るために細いナイロンチューブを用いて気圧安定所に誘導するのを容易にするためにも。

CYG 503 A絶圧型マイクロ圧力センサはプローブ形であり、標準外径はΦ3.5 mm、長さは18 mmであり、特製の短柱CYG 503 ASは長さを12 mmに短縮する。選択可能な距離は100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000 kpa絶対圧力である。

CYG 503 G表圧型マイクロ圧力センサはプローブ形、標準外径はΦ3.5 mm、長さは18 mm、背圧引出毛細管長は12 mmである。選択可能な距離は160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表圧である。

CYG 503の設計製作特許はすでに国家特許の授権を得ており、特許番号は：.3である。

CYG 504マイクロボルト取付型圧力センサは、一部のユーザーが使用するために必要なCYG 503の派生品種であり、絶圧、表圧どちらでもよい。その外形寸法は図面を参照してください。

CYG503、504型センサは、感受性素子の表面で圧力を受けるため、媒体が非腐食性で非導電性の乾燥ガスにのみ適用される。しかし、それはかなり広い動作温度域と非常に良い動的周波数音を持っています。使用可能な動的周波数音は、低〜ゼロ周波数、高〜数十キロヘルツである。表面にコーティング保護を追加することにより、媒体の適用能力を改善することができるが、周波数音響特性を犠牲にすることを代価とする。

1、性能指標パラメータ

2、フルレンジ出力：最小値30 mv典型値80 mv最大値130 mv

3、入出力インピーダンス：最小値3 kΩ典型値5 kΩ最大値7 kΩ

4、入力動作電流：1.5 mA（表圧タイプ）1 mA（絶圧タイプ）（定電流源）

5、動作温度範囲：-55℃～+120℃

6、補償温度範囲：-10℃～+80℃

7、過負荷能力：定格レンジの200%

8、加速度感度：＜0.001%FS/g

9、外形寸法図：